SILVACO TCAD 2010 نرم افزار همراه با شبیه سازی لیزر توسط این نرم افزار
پردیس بین المللی چابهار،غالمرضا مصلی نژاد
[email protected]
از چند شبیه ساز ديگر تشكيلSilvaco TCAD 2010 شبیه ساز . میباشندATHENA وATLAS شده است كه مهمترین آنها برای شبيه سازي ادوات نيمه هادي و بدست آوردن مشخصهATLAS مشخصه هاي فيزيكي ابزار راATHENA هاي ابزارها بکار میرود و .در طول فرآيند ساخت پيش بيني میکند
: به صورت مجتمعSilvaco توانایی کار کردن با سایر برنامه های
1391 بهار شماره چهارم مجله علمی فرهنگی پیک سال اول
1
دو
• Runs in the DECKBUILD interactive run-time environment. • Is interfaced to TONYPLOT, the interactive graphics and analysis package. • Accepts input from the ATHENA and SSUPREM3 process simulators. • Is interfaced to UTMOST parameter extraction and device modeling software. • Can be used in experiments with the VWF AUTOMATION TOOLS.
:حل معادالت پیچیده با استفاده از تکنیکهای عددی
سه
1. Accurate and robust discretization techniques. 2. Gummel, Newton, and block-Newton nonlinear iteration strategies. 3. Efficient solvers, both direct and iterative, for linear subproblems. 4. Powerful initial guess strategies. 5. Small-signal calculation techniques that converge at all frequencies. 6. Stable and accurate time integration.
:ATLAS امکانات و مشخصات
:شامل مجموعه ی وسیعی از مدل های فیزیکی
یک
1. DC, AC small-signal, and full time-dependency. 2. Drift-diffusion transport models. 3. Energy balance and Hydrodynamic transport models. 4. Lattice heating and heatsinks. 5. Graded and abrupt heterojunctions. 6. Optoelectronic interactions with general ray tracing. 7. Amorphous and polycrystalline materials. 8. General circuit environments. 9. Stimulated emission and radiation. 10. Fermi-Dirac and Boltzmann statistics. 11. Advanced mobility models. 12. Heavy doping effects. 13. Full acceptor and donor trap dynamics 14. Ohmic, Schottky, and insulating contacts. 15. SRH, radiative, Auger, and surface recombination. 16. Impact ionization (local and non-local). 17. Floating gates. 18. Band-to-band and Fowler-Nordheim tunneling. 19. Hot carrier injection. 20. Quantum transport models. 21. Thermionic emission currents.
شبیه سازی های ATLASدارای 2نوع ورودی و 3نوع خروجی هستند (مطابق شکل)
برنامه شبیه سازی Deckbuildاست كه اطالعات ورودي را در قالب يك فايل متني با پسوند .inدر اختیار شبیه ساز ATLAS قرار میدهد .خروجیهای Runtimeخروجي هايي هستند كه در حين شبيه سازي نمايش داده میشوند .مانند روش حل عددي معادالت، تعداد تکرار روشهای حل و پارامترهاي ديگر. LOG filesحاوي مشخصه هاي ابزار میباشندSolution files .
حاوي اطالعاتي است كه براي رسم نمودار در برنامه TONY PLOTنياز است. در ادامه به مراحل آماده كردن فايل ورودي در محيط Deckbuild میپردازیم .براي هر شبيه سازي بايد مراحل زير به ترتيب با دستورات الزم انجام شود:
مجله علمی فرهنگی پیک سال اول
شماره چهارم
بهار 1391
Commands MESH, REGION, ELECTRODE, DOPING MATERIAL, MODELS, CONTACT, INTERFACE METHOD LOG, SOLVE, LOAD, SAVE EXTRACT, TONYPLOT مش (: )MESH
تعريف مش شامل يك سری خطهای عمو دي و افقي با فواصل تعيين شده است .هر چه فواصل بيشتر باشد شبيه سازي سریعتر ولی دقت كمتر است .تخصيص مش به صورت زير است:
برای مثال:
2
Instructions
>x.mesh Loc= spac=y.mesh Loc= spac=ELECTRODE NAME=DOPING REGION number= LOG OUTF=EXTRACT INIT INF=”1) SAVE OUTFILE=